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超高精度,適于用作精密檢測室的主檢測設備;
3個型號(1、2、3 型)各自有 5 級放大倍率,可滿足不同視場及倍率要求;
有多種多樣的照明方式可供選擇,以確保模具邊界準確探測的需求;
較長的工作距離(50毫米),可滿足測量對工件高度方向的空間需求;
高達15倍的變焦比,可以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。與無級變焦機構相比,采用5段、定倍自動變焦機構可以使測量更加快速、準確。
應用領域:
精密檢測室的主檢測設備,模具及精密機械零件測量。
精密掩模板
精密機械零件
模具
具有超高精度的載物臺,與高倍頭配合使用,能夠準確測量工件的細微部位(如精密掩膜及芯片凸點高度等關鍵尺寸)光學放大倍數Zui高可達120X,能夠測量微距線寬;
高速、高精度的載物臺有助于對較大的物體尺寸,進行快速、準確地測量;
可以分別測量刻線的上下寬度;
激光自動掃描功能,可以用來測量芯片上的微小凸點高度以及錫球截面形狀等;
可以對激光掃描所得的截面輪廓形狀進行評估。
應用領域:
各種芯片級封裝、芯片上的凸點高度、各種精密掩膜板等。
精密掩模板
倒裝芯片上的凸點
芯片凸點形貌色標顯示