VMS-1215H大行程全自動影像儀技術參數
一、機臺結構：
型號 | VMS-0810H | VMS-1012H | VMS-1215H |
X/Y軸行程（mm) | 800*1000 | 1000*1200 | 1200*1500 |
玻璃臺尺寸(mm) | 885*1158 | 1085*1358 | 1285*1858 |
外形尺寸(m) | 2.17*2.38*1.56 | 2.37*2.58*1.56 | 2.57*2.88*1.56 |
整臺重量(kg) | 3260 | 3750 | 4520 |
Z軸運動行程 | 200mm | ||
X/Y軸Zui大速度 | 300mm/s | ||
二、光學系統：
變倍鏡頭 | 進口 倍率 0.7X～4.5X |
光源 | 表面光源-LED表面環形光源 底光源-LED新型直線光源 |
光學尺分辨力 | 0.5μm |
X/Y示值誤差 | (4+L/200)μm |
攝像機 | 彩色1/2"CCD攝像機 |
激光平面度測量 | 重復性3μm(選配激光位移器時) |
物方視場 | 11.1mm～1.7mm |